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JOT Journal für Oberflächentechnik
Published in: JOT Journal für Oberflächentechnik 9/2012

01-09-2012 | DÜNNE SCHICHTEN

Integriertes Plasma-Monitoring

Kontrolle von Atmosphärendruck-Plasmaprozessen

Authors: Thomas Struppert, Oliver Beier, Kerstin Horn, Andreas Pfuch, Arnd Schimanski, Bernd Grünler

Published in: JOT Journal für Oberflächentechnik | Issue 9/2012

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Auszug

Spektroskopisches Plasma-Monitoring ist eine Technik zur produktionsintegrierten Prozess- und Qualitätskontrolle im Bereich der Atmosphärendruck-Plasmaanwendungen. Durch das kontaktfreie Setup werden die ablaufenden Prozesse nicht beeinträchtigt. Mehrkanal-Systeme ermöglichen auch die Überwachung von großflächigen Anwendungen. …
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Metadata
Title
Integriertes Plasma-Monitoring
Kontrolle von Atmosphärendruck-Plasmaprozessen
Authors
Thomas Struppert
Oliver Beier
Kerstin Horn
Andreas Pfuch
Arnd Schimanski
Bernd Grünler
Publication date
01-09-2012
Publisher
Vieweg Verlag
Published in
JOT Journal für Oberflächentechnik / Issue 9/2012
Print ISSN: 0940-8789
Electronic ISSN: 2192-869X
DOI
https://doi.org/10.1365/s35144-012-0468-4

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