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2018 | OriginalPaper | Chapter

13. Messtechnik

Authors : Michael Aust, Dirk Stanischewski

Published in: Reinraumtechnik

Publisher: Springer Berlin Heidelberg

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Zusammenfassung

Die Qualität von Reinräumen wird über eine Vielzahl durch eine Mehrzahl von Messgrößen definiert, s. Abb. 13.1. Die entsprechenden produktrelevanten oder prozesskritischen Parameter sollten deshalb zusammen mit arbeitsplatzspezifischen Richtwerten und einem Hinweis auf gesetzliche Regelungen in der Planungsphase festgelegt werden (DIN ISO EN 14644-4 [1]).

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Footnotes
1
Hierbei ist zu beachten, dass die Regelung des Druckes auf den Sollwert einen zum Teil erheblichen Zeitbedarf hat, so dass ausreichend Zeit bis zur Stabilisierung der Messwerte eingeplant werden sollte. Es ist empfehlenswert, den Druck über einen gewissen Zeitraum nach der Stabilisierung aufzuzeichnen und zu beurteilen, so dass zufällige Effekte ausgeschlossen werden können.
 
Literature
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Metadata
Title
Messtechnik
Authors
Michael Aust
Dirk Stanischewski
Copyright Year
2018
Publisher
Springer Berlin Heidelberg
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-54915-5_13

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