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2017 | OriginalPaper | Chapter
NBD - Nano-Elektronenbeugung
Authors : Jürgen Bauch, Rüdiger Rosenkranz
Published in: Physikalische Werkstoffdiagnostik
Publisher: Springer Berlin Heidelberg
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C.J. DAVISSON und L.H. GERMER sowie G.P. THOMSON führten unabhängig voneinander erste grundlegende Experimente zur Elektronenbeugung durch. Diese ist heute unter der Bezeichnung "Transmission Electron Diffraction" eine Standardmethode in der Transmissionselektronenmikroskopie. Eine hochauflösende Spielart des Verfahrens ist die Nano-Elektronenbeugung. Dabei wird ein im TEM quasiparallel kollimierter Elektronenstrahl mit einem typischen Durchmesser von 5 nm über die Probe geführt. Auf diese Weise werden Beugungsbilder aufgenommen und für jede Position gespeichert.