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Published in:

01-03-2004

Nonselective etching of GaN/AlGaN heterostructures by Cl₂/Ar/BCl₃ inductively coupled plasmas

Authors: Yanjun Han, Song Xue, Tong Wu, Zhen Wu, Wenping Guo, Yi Luo, Zhibiao Hao, Changzheng Sun

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Title: Nonselective etching of GaN/AlGaN heterostructures by Cl2/Ar/BCl3 inductively coupled plasmas
Authors: Yanjun Han
Song Xue
Tong Wu
Zhen Wu
Wenping Guo
Yi Luo
Zhibiao Hao
Changzheng Sun
Publication date: 01-03-2004
Publisher: Science in China Press
Published in: Science China Technological Sciences / Issue 2/2004
Print ISSN: 1674-7321
Electronic ISSN: 1869-1900
DOI: https://doi.org/10.1360/03ye0256

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