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JOT Journal für Oberflächentechnik

Published in:

01-09-2020 | Dünne Schichten

Oberflächenintegrierte Dünnschichtsensoren

Authors: Dr. Ralf Bandorf, Dr. Saskia Biehl, Dr. Jochen Brand

Published in: JOT Journal für Oberflächentechnik | Special Issue 4/2020

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Für eine vernetzte Kommunikation innerhalb von Produkten, Prozessketten und Fabriken bieten Dünnschichtsensoren vielfältige Möglichkeiten zur Integration von sensorischen Funktionen, wie Kraft-, Druck-, Dehnungs- und Temperaturmessung, in bestehende Bauteile. …

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[1]

Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.: Multifunctional thin film sensors based on amorphous diamond-like carbon for use in tribological applications. Thin Solid Films, Vol. 515 (2006) S. 1171-1175.

[2]

Carreri, F.C., Bandorf, R., Gerdes, H., Vergöhl, M., Bräuer, G.: Highly insulating alumina films by a bipolar reactive MF sputtering process with special arc handling. Surface & Coatings Technology 290 (2016) 82-86

[3]

Ortner, K.: Magnetschichten mit Gasfluss-Sputtern; Fraunhofer IST, Jahresbericht 2015 https://www.ist.fraunhofer.de/content/dam/ist/de/documents/jb/2015/jb2015_de_ortkai_magnetschichten_mit_gasfluss-sputtern.pdf

[4]

Petersen, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Klages C.-P.: Diamond-like carbon films as piezoresistors in highly sensitive force sensors. Diamond & Related Materials 26 (2012) 50-54

[5]

Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.: Transport and optical properties of amorphous carbon and hydrogenated amorphous carbon films. In: Applied Surface Science, Vol. 252, 15 (2006) S. 5387-5390.

Title: Oberflächenintegrierte Dünnschichtsensoren
Authors: Dr. Ralf Bandorf
Dr. Saskia Biehl
Dr. Jochen Brand
Publication date: 01-09-2020
Publisher: Springer Fachmedien Wiesbaden
Published in: JOT Journal für Oberflächentechnik / Issue Special Issue 4/2020
Print ISSN: 0940-8789
Electronic ISSN: 2192-869X
DOI: https://doi.org/10.1007/s35144-020-0701-5

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