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2018 | OriginalPaper | Chapter

2. Physikalische Grundlagen gasgetragener partikulärer Kontaminationen

Authors : Heinz Fißan, Andreas Trampe, Christof Asbach

Published in: Reinraumtechnik

Publisher: Springer Berlin Heidelberg

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Zusammenfassung

Viele der heutigen Produkte sind während ihrer Herstellung sehr empfindlich gegenüber Schad- bzw. Fremdstoffen in ihrer Umgebung. Diese Empfindlichkeit war und ist der Auslöser für die Entwicklung und die stetige Weiterentwicklung der sogenannten Reinen Technologien. Die Zielsetzung der Reinen Technologien ist es, die Schad- bzw. Fremdstoffe in der Reichweite der Produkte auf einen vorgegebenen Grenzwert zu reduzieren. Um diese Zielsetzung zu erreichen, sind die einzelnen Stoffströme sowohl im Reinraum als auch in den entsprechenden geschlossenen Prozesssystemen zu betrachten.

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Metadata
Title
Physikalische Grundlagen gasgetragener partikulärer Kontaminationen
Authors
Heinz Fißan
Andreas Trampe
Christof Asbach
Copyright Year
2018
Publisher
Springer Berlin Heidelberg
Book
Reinraumtechnik

Print ISBN: 978-3-662-54914-8

Electronic ISBN: 978-3-662-54915-5

Copyright Year: 2018

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-54915-5_2

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