Porösizierte Glaskeramik-Substrate für die Radarsensorik

Für Komfortfunktionen und aktive Sicherheitsfunktionen werden in modernen Fahrzeugen Radarsensoren im freigegebenen Frequenzband zwischen 77 GHz und 79 GHz benötigt. Um einen langzeitstabilen Betrieb bei gleichzeitig geringer Baugröße der Radarsensoren zu gewährleisten, müssen robuste Materialsysteme mit geeigneten dielektrischen Eigenschaften im Bereich der Aufbau- und Verbindungstechnik verwendet werden. Kommerzielle LTCC (engl.: low temperature cofired ceramics) Glaskeramiksubstrate ermöglichen einen dreidimensionalen Aufbau bei hervorragenden Hochfrequenzeigenschaften. Um die Antennencharakteristik zu optimieren, wird ein Porösizier-Verfahren vorgestellt, um eine lokal reduzierte Permittivität zu erreichen. Dabei wird nasschemisch das Glaskeramikmaterial porösiziert, um oberflächennah eine Schicht mit reduzierter dielektrischer Konstante zu erzielen. Diese wird durch den Vergleich von Hochfrequenzmessungen mit numerischen Simulationsergebnissen bestimmt.