Reinstproduktion am Beispiel elektronischer Halbleiterbauelementen

Mehr und mehr Industriebereiche, wie die Medizintechnik, die Feinmechanik, die Mikrosystemtechnik, die Pharmazie, die Lebensmittelindustrie oder die Halbleiterfertigung, benötigen bei der Herstellung ihrer Produkte reinste Fertigungs- und Umgebungsbedingungen. Dazu ge­hören beispielsweise der Reinraum, der die äußere Hülle der Fertigungsumgebung darstellt, die Handhabungs- und Transportsysteme sowie die Medienver- und -entsorgungssysteme, die zum Transport von Prozessmedien benötigt werden. Besonders hohe Reinheitsanforderungen wer­den dabei z.B. an die Raumluft,den Arbeitsplatz (Werkzeuge und Maschinen),die Prozessmedien (Gase, Chemikalien, Flüssigkeiten) unddas Personal gestellt.