5. Röntgenfluoreszenzanalyse

Die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) ist eines der am weitesten verbreiteten Analyseverfahren, da sie vielseitig und robust ist (inklusive Schichtmikroanalytik und Röntgenfeinstrukturanalyse). Das Kapitel beschreibt das Grundprinzip und den grundlegenden Geräteaufbau inklusive einer Beschreibung der einzelnen Bauteile der verschiedenen Gerätetypen und stellt die verschiedenen Verfahren vor. Die RFA basiert auf der Erzeugung charakteristischer Röntgenstrahlung (Fluoreszenz) durch die Anregung der Elemente in der Probe mit hochenergetischer Röntgenstrahlung. Die charakteristische Röntgenstrahlung kann wellenlängendispersiv oder energiedispersiv gemessen werden, wobei Letzteres sehr schnell simultan abläuft und weniger Energie verbraucht, jedoch eine schlechtere analytische Performance aufweist. Das Kapitel beschreibt die Interelementeffekte, deren Korrektur und konkurrierende Prozesse. Weiterhin werden Methoden zur Durchführung der Untergrund- und Linienüberlagerungskorrektur inklusive der Kalibration für verschiedene Fallbeispiele vorgestellt.