Halbleiter sind Festkörper, deren elektrische Leitfähigkeit durch Elektronen und/oder Defektelektronen zustande kommt und deren spezifischer elektrischer Widerstand bei Zimmertemperatur zwischen dem der Metalle und dem der Dielektrika liegt …

Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her? Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die …

Die zuvor genannten Einzelprozessschritte ermöglichen die Herstellung von elektronischen, mechanischen und optischen Bauelementen in Silizium oder auf anderen Substraten. Dazu ist eine Kombination der Prozesse erforderlich, deren Umfang und Komplexit

Die typische Umgebung für die Entwicklung und Fertigung von mikrotechnischen Produkten ist der Reinraum. Er gewährleistet saubere Umgebungsbedingungen in Form von gefilterter Luft in dem Bereich, in dem Substrate partikelarm mit geeigneten Prozessmed

Mikrosystemtechnik, entstanden aus der Ergänzung der Mikroelektronik durch andere Mikrotechniken, ermöglicht heute die Realisierung vollständiger Systeme für unterschiedlichste Anwendungen auf kleinstem Raum. Die Bewertung des Potenzials einer …

Die Mikrosystemtechnik befaßt sich mit der Entwicklung, Herstellung und Anwendung miniaturisierter Baugruppen, in denen mechanische, optische und elektronische Funktionen zielgerichtet integriert sind. Sie ist somit eine konsequente …

Die Mikrosystemtechnik befaßt sich mit der Entwicklung, Herstellung und Anwendung miniaturisierter Baugruppen, in denen mechanische, optische und elektronische Funktionen zielgerichtet integriert sind. Sie ist somit eine konsequente …

1.1 Von der Mikroelektronik zur Mikrosystemtechnik Es gibt zweifellos kein Gebiet der Wissenschaft und Technik des 20. Jahrhunderts, das eine vergleichbar stürmische Entwicklung erfahren hat wie die Mikroelektronik in den vergangenen 50 Jahren. Mit d

Unter dem Oberbegriff der ,,Mikroelektromechanischen Sensorsysteme" (oder MEMS) wird zusehends die Integration von Sensoren und Aktuatoren der Mechatronik, der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik unter Ausnutzung moderner Massenfertigungstechnologien verstanden.

Die Mikrosystemtechnik wird in ihren Teilgebieten Mikroelektronik und Mikromechanik von der Siliziumtechnologie beherrscht. Materialeigen­ schaften und insbesondere die verbreitete, hoch entwickelte Prozeß­ technik haben andere Materialien …

Die typische Umgebung für die Entwicklung und Fertigung von mikrotechnischen Produkten ist der Reinraum. Er gewährleistet saubere Umgebungsbedingungen in Form von gefilterter Luft in dem Bereich, in dem Substrate partikelarm mit geeigneten …

Entsprechend der Anwendungsbreite der Mikrosystemtechnik sind die verwendeten Materialien sehr vielfältig. Neben Silizium und seinen Verbindungen werden auch andere Halbleiter, Dielektrika und Metalle verwendet. Daß Silizium in der …

Technologien und Materialien sind für die Realisierungsmöglichkeiten der Mikrosystemtechnik von ausschlaggebender Bedeutung, da sie eine Vielzahl charakteristischer Eigenschaften, besonders aber die Kosten, Formgestaltung und damit schließlich die …

In der Vergangenheit sind verschiedene Konzepte zur direkten, in erster Linie quantitativen Messung des Standes der Technik mit Hilfe von Technikindikatoren entwickelt worden. Die unterschiedlichen Methoden sind jedoch zumeist auf die verfolgte …