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2021 | OriginalPaper | Chapter

9. Vakuum-Physik

Author : Wolfgang Demtröder

Published in: Experimentalphysik 1

Publisher: Springer Berlin Heidelberg

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Zusammenfassung

Dieses Kapitel ist der Vakuum Technologie gewidmet, einem Gebiet, das für die Entwicklung der modernen Atom- Kern- und Elementarteilchen-Physik von nicht zu überschätzender Bedeutung war. Nach der Erklärung der wichtigsten Grundbegriffe werden Methoden zur Erzeugung und Messung von Vakua vorgestellt und die Gründe für die Begrenzung bei der Erreichung tiefster Drücke erläutert. Die verschiedenen Pumpentypen werden vorgestellt und die für die Messung der Vakua optimalen Messgeräte erläutert.

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go back to reference M. Wutz, H. Adam, W. Walcher: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik, 5. Aufl. (Vieweg, Braunschweig 2004) M. Wutz, H. Adam, W. Walcher: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik, 5. Aufl. (Vieweg, Braunschweig 2004)
go back to reference P.A. Readhead, J.P. Hobson, E.V. Kornelsen: The Physical Basis of Ultrahigh Vacuum (Chapman and Hall, London 1968) P.A. Readhead, J.P. Hobson, E.V. Kornelsen: The Physical Basis of Ultrahigh Vacuum (Chapman and Hall, London 1968)
go back to reference J.F. O’Hanlon: A USER’S Guide to Vacuum Technology (John Wiley, New York 1980) J.F. O’Hanlon: A USER’S Guide to Vacuum Technology (John Wiley, New York 1980)
go back to reference W. Becker: The Turbomolecular Pump, its Design, Operation and Theory, Vac. Technol. 7, 149 (1958) and Vacuum 16, 625 (1966) W. Becker: The Turbomolecular Pump, its Design, Operation and Theory, Vac. Technol. 7, 149 (1958) and Vacuum 16, 625 (1966)
go back to reference K. Jousten (ed.): Handbook of Vacuum Technology (Wiley VCH, Weinheim 2008) K. Jousten (ed.): Handbook of Vacuum Technology (Wiley VCH, Weinheim 2008)
go back to reference Handbuch Vakuumtechnik (Springer Heidelberg 2018) Handbuch Vakuumtechnik (Springer Heidelberg 2018)
Metadata
Title
Vakuum-Physik
Author
Wolfgang Demtröder
Copyright Year
2021
Publisher
Springer Berlin Heidelberg
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-662-62728-0_9

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