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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 5/2004

01.08.2004 | Technical Papers

Ensuring repeatability in LIGA mold insert fabrication

verfasst von: J. Schulz, K. Bade, M. Guttmann, L. Hahn, A. Janssen, U. Köhler, P. Meyer, F. Winkler

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 5/2004

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Metadaten
Titel
Ensuring repeatability in LIGA mold insert fabrication
verfasst von
J. Schulz
K. Bade
M. Guttmann
L. Hahn
A. Janssen
U. Köhler
P. Meyer
F. Winkler
Publikationsdatum
01.08.2004
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 5/2004
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/BF02637114

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