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2018 | OriginalPaper | Buchkapitel

28. Environmental SEM (Atmospheric SEM)

verfasst von : Yusuke Ominami

Erschienen in: Compendium of Surface and Interface Analysis

Verlag: Springer Singapore

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Abstract

Conventional SEM normally has vacuum environment between electron optic column and specimen chamber so that electron beam-emitted electron source travels to specimen without being scattered by gas molecular.

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Literatur
1.
Zurück zum Zitat Danilatos, G.D., Robinson, V.N.E.: Principles of scanning electron microscopy at high specimen pressures. Scanning 2, 72–82 (1979)CrossRef Danilatos, G.D., Robinson, V.N.E.: Principles of scanning electron microscopy at high specimen pressures. Scanning 2, 72–82 (1979)CrossRef
2.
Zurück zum Zitat Danilatos, G.D.: Design and construction of an atmospheric or environmental SEM (part 3). Scanning 7, 26–42 (1985)CrossRef Danilatos, G.D.: Design and construction of an atmospheric or environmental SEM (part 3). Scanning 7, 26–42 (1985)CrossRef
3.
Zurück zum Zitat Ominami, Y., et al.: A Novel Approach to Scanning Electron Microscopy at Ambient Atmospheric Pressure. Microscopy 64, 97–104 (2015)CrossRef Ominami, Y., et al.: A Novel Approach to Scanning Electron Microscopy at Ambient Atmospheric Pressure. Microscopy 64, 97–104 (2015)CrossRef
Metadaten
Titel
Environmental SEM (Atmospheric SEM)
verfasst von
Yusuke Ominami
Copyright-Jahr
2018
Verlag
Springer Singapore
DOI
https://doi.org/10.1007/978-981-10-6156-1_28

    Marktübersichten

    Die im Laufe eines Jahres in der „adhäsion“ veröffentlichten Marktübersichten helfen Anwendern verschiedenster Branchen, sich einen gezielten Überblick über Lieferantenangebote zu verschaffen.