Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

01.08.2013 | Technical Paper | Ausgabe 8/2013

Microsystem Technologies 8/2013

Experimental research on resist filling behavior in microimprint lithography by using defocusing digital particle image velocimetry

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 8/2013
Autoren:
Du Jun, Wei Zhengying, Li Shize, Tang Yiping

Abstract

The resist filling behavior is crucial to the quality of the final imprinted patterns in microimprint lithography. To achieve the microscale velocity field of resist, a 3-D defocusing digital particle image velocimetry (DDPIV) system was established. The spatial coordinates of 500 nm fluorescent tracer particles were inferred from their DDPIV images generated by a mask with three apertures forming an equilateral triangle. Time-resolved 3-D particle field inside the resist was obtained with the spatial coordinates of particles. Particle tracking velocimetry was utilized to derive the velocity field from the particle spatial position in the imprinting sequence. Velocity history of particles along the extracted track was described. The results showed that the maximum velocity of the resist was always located in the region between the mold corner and the supporting substrate; meanwhile, the velocity component of the resist in the vertical direction is approximate to zero. The volume transfer characteristics of resist was illustrated from the view of particle field and velocity field, which will help reveal the resist filling mechanism and provide useful guidance for the mold structure optimization.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 8/2013

Microsystem Technologies 8/2013 Zur Ausgabe