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27.07.2019 | Technical Paper

Experimental verification of near-field lattice spectroscopy

Zeitschrift:
Microsystem Technologies
Autoren:
Pin Han, Hsun-Ching Hsu, Hsu-Wen Cheng, Tsung-Han Hsieh, Cheng-Ling Lee, Hung-Bin Lee
Wichtige Hinweise

Publisher's Note

Springer Nature remains neutral with regard to jurisdictional claims in published maps and institutional affiliations.

Abstract

Near-field lattice spectroscopy has shown that the structure information for a lattice or periodic pattern can be obtained by measuring the diffracted spectrum of a broad-band light source at one spatial position. This technique is verified experimentally using a transmitting grating, supercontinuum white light laser, and a reflective concave mirror. The calculated grating’s period from the detected lattice spectroscopy is close to the measured period with an optical microscope, which demonstrates the validity and feasibility of this scheme.

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