Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

01.01.2014 | Review Paper | Ausgabe 1/2014

Microsystem Technologies 1/2014

Fabrication flaws and reliability in MEMS thin film polycrystalline flow sensor

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 1/2014
Autoren:
M. T. Bensidhoum, M. Laghrouche, A. Sidi Said, L. Montes, J. Boussey

Abstract

A micro hot wire anemometer sensor has been constructed. The process consists in depositing a thin doped polycrystalline silicon layer on silicon substrate, using a micro-machined technique. This paper discusses the reliability and the fabrication flaws of this sensor. The different steps of fabrication are oxidation, deposit, photolithography, chemical attack, ionic implantation and annealing. An additional step, allowing the release of the suspended structures, is added. With each technological process step, a certain number of problems can be met. Each of these problems can potentially give rise to a defect of the final structure. Various tests are carried out on the final structure to make a first approach of the micro flow sensor flaws.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 1/2014

Microsystem Technologies 1/2014 Zur Ausgabe