Fabrication of micro-slot optics on curved substrate by X-ray lithography and electroplating

Wir haben eine Mikro-Schlitz-Optik (MSO) entwickelt, die in den Spiegeln verwendet werden kann, um Röntgenstrahlen zu reflektieren und zu fokussieren. Sie besteht aus einer großen Anzahl konzentrischer Ringe gekrümmter MSO-Platten mit den notwendigen radialen Tragstrukturen, um eine kugelförmige Form zu bilden. Flache MSO-Platten können durch Röntgenlithographie und normale Galvanisierung hergestellt werden; der anschließende plastisch verformende Prozess ist jedoch sehr schwierig zu erreichen, da sich die winzige Krümmung des metallischen MSO innerhalb seines elastisch verformbaren Bereichs befindet. In dieser Arbeit wird eine Methode entwickelt, um kugelförmig gekrümmte MSO-Platten herzustellen. Nach dem Röntgenlithographieprozess können kugelförmige MSO-Platten direkt durch Galvanisierung auf einem gekrümmten Substrat gewonnen werden. Röntgenprüfergebnisse zeigen einen offensichtlichen Brennpunkt mit einer Winkelauflösung von etwa 5 Bogenminuten, was zeigt, dass die Mikro-Schlitze in den MSO-Platten erfolgreich gekrümmt wurden.