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Erschienen in:
Einführung in die Sensortechnik Kapitel lesen Erstes Kapitel lesen

2014 | OriginalPaper | Buchkapitel

17. Gassensoren und Analysengeräte

verfasst von : Katrin Schmitt, Jürgen Wöllenstein, Walter Fabinski , Michael Zöchbauer

Erschienen in: Sensortechnik

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Zusammenfassung

In dem nachfolgenden Kapitel werden nichtoptische Gassensoren, die auf den chemischen Effekten Adsorption und Desorption basieren, beschrieben. Dabei werden nur die wichtigsten Typen behandelt. Bis auf die gassensitiven Feldeffekttransistoren werden alle Ausführungsformen in großer Anzahl industriell für verschiedenste Anwendungen hergestellt. Gassensitive Feldeffekttransistoren werden gegenwärtig von der Wissenschaft und Industrie verstärkt untersucht, da sie durch die Möglichkeit der preisgünstigen Herstellung ein großes Potential für die zukünftige Industrialisierung aufweisen.

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Fußnoten
1
Dünne, selbsttragende dielektrische Schichten werden in der Mikromechanik oft fälschlicherweise als Membranen bezeichnet. Da sich diese Bezeichnung eingebürgert hat, wird sie auch im vorliegenden Kapitel verwendet.
 
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Metadaten
Titel
Gassensoren und Analysengeräte
verfasst von
Katrin Schmitt
Jürgen Wöllenstein
Walter Fabinski
Michael Zöchbauer
Copyright-Jahr
2014
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Buch
Sensortechnik

Print ISBN: 978-3-642-29941-4

Electronic ISBN: 978-3-642-29942-1

Copyright-Jahr: 2014

DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-642-29942-1_17

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