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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 5/2010

01.05.2010 | Technical Paper

Growth of ZnO nanorods on patterned templates for efficient, large-area energy scavengers

verfasst von: G. Niarchos, E. Makarona, C. Tsamis

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 5/2010

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Abstract

ZnO nanostructures were grown on patterned Si substrates using a cost-efficient, low-temperature process, for their future exploitation as functional cores of nanopiezotronic applications. Different substrates and growth parameters were examined in order to determine the optimum process window that will constitute a reliable, low-cost method for large-scale ZnO nanorod production. Statistical analysis was performed to assess the size and shape distribution of the nanorods in an effort to determine the energy conversion efficiency of the resulting structures.
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Literatur
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Metadaten
Titel
Growth of ZnO nanorods on patterned templates for efficient, large-area energy scavengers
verfasst von
G. Niarchos
E. Makarona
C. Tsamis
Publikationsdatum
01.05.2010
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 5/2010
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-010-1030-z

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