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Hetero-dielectric macaroni channel cylindrical gate all around field effect transistor (HD-MC CGAA FET) for reduced gate leakage analog applications

  • 23.12.2023
  • Technical Paper
Erschienen in:

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Abstract

Der Artikel befasst sich mit dem Design und der Leistung eines Heterodielektrischen Macaroni-Kanalzylindrischen Gate All Around (HD-MC CGAA) Field Effect Transistor (FET), einer vielversprechenden Lösung zur Verringerung von Gate-Leckagen in analogen Anwendungen. Es werden die Herausforderungen durch Short Channel Effects (SCEs) im Siliziumsektor, insbesondere im 10 nm-Bereich, diskutiert und die Vorteile von CGAA-Architekturen für MOSFETs hervorgehoben. Der Beitrag stellt ein neuartiges HD-MC CGAA FET Design vor, das seine symmetrische Dual-Metall-Gate Struktur und die Verwendung heterogener Dielektriken zur Verbesserung der elektrostatischen Integrität detailliert. Die Autoren präsentieren Simulationsergebnisse, die die bemerkenswerte GIDL-Stromleistung des HD-MC CGAA FET demonstrieren und ihn als starken Konkurrenten für Schaltkreise mit geringem Stromverbrauch und DRAM-Bauteile positionieren. Der Artikel schließt mit der Betonung des Potenzials dieses Designs für zukünftige ultragroße integrierte Schaltkreise und 3D-NAND-Flash-Speicherzellen.

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Titel
Hetero-dielectric macaroni channel cylindrical gate all around field effect transistor (HD-MC CGAA FET) for reduced gate leakage analog applications
Verfasst von
Aapurva Kaul
Sonam Rewari
Deva Nand
Publikationsdatum
23.12.2023
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 5/2024
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-023-05577-9
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