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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 3-4/2007

01.02.2007 | Erratum

High aspect ratio air core solenoid inductors using an improved UV-LIGA process with contrast enhancement material

verfasst von: Hong Lu, Brandon Pillans, Jong-Chan Lee, Kyunghwan Kim, Jeong-Bong Lee

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 3-4/2007

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Metadaten
Titel
High aspect ratio air core solenoid inductors using an improved UV-LIGA process with contrast enhancement material
verfasst von
Hong Lu
Brandon Pillans
Jong-Chan Lee
Kyunghwan Kim
Jeong-Bong Lee
Publikationsdatum
01.02.2007
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 3-4/2007
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-006-0248-2

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