Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

01.09.2014 | Original Paper | Ausgabe 3/2014

Journal of Sol-Gel Science and Technology 3/2014

High-k titanium–aluminum oxide dielectric films prepared by inorganic–organic hybrid solution

Zeitschrift:
Journal of Sol-Gel Science and Technology > Ausgabe 3/2014
Autoren:
Juan Peng, Chenhang Sheng, Jifeng Shi, Xifeng Li, Jianhua Zhang

Abstract

In this paper, high-k titanium–aluminum oxide (ATO) dielectric film has been realized by using organic–inorganic hybrid precursor solution. X-ray diffraction pattern revealed that the ATO films (Ti content less than 67 at%) remain amorphous phase for annealing treatment at 400 °C. And all of the amorphous ATO films had very smooth and uniform surface with root mean square (RMS) roughness of less than 0.5 nm. Meanwhile, the results showed that the ATO film (Ti:Al = 1:8) had the best performance, including RMS roughness of 0.33 nm, relative permittivity of 15, and leakage current density of 1.41 × 10−6 A/cm2 at 1 MV/cm.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe​​​​​​​




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 3/2014

Journal of Sol-Gel Science and Technology 3/2014 Zur Ausgabe

Premium Partner

    Marktübersichten

    Die im Laufe eines Jahres in der „adhäsion“ veröffentlichten Marktübersichten helfen Anwendern verschiedenster Branchen, sich einen gezielten Überblick über Lieferantenangebote zu verschaffen. 

    Bildnachweise