Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

01.01.2015 | Technical Paper | Ausgabe 1/2015

Microsystem Technologies 1/2015

High temperature characteristic for wireless pressure LTCC-based sensor

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 1/2015
Autoren:
Tan Qiulin, Kang Hao, Qin Li, Xiong Jijun, Liu Jun, Xue Chenyang, Zhang Wendong, Luo Tao

Abstract

The high temperature characteristic for pressure sensor based on low-temperature co-fired ceramic (LTCC) technology is researched. The Young’s modulus of LTCC DuPont 951 ceramic versus temperature is analysed theoretically. The sensor resonant frequency is tested from room temperature to 600 °C. Results show that resonant frequency drops nearly as a line. And the dropping of resonant frequency is mainly caused by the increase of LTCC material permittivity. A capacitor structure is proposed to reduce the change of frequency versus temperature and a compensation structure is proposed for the actual application. Moreover, the coupling effect between antenna and sensor fabricated using FERRO A6M-E and DuPont 951 is compared at 600 °C. Result shows that the material with lower dielectric loss and thermal conductivity is suggested to increase the temperature range of operation of sensor.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe​​​​​​​




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 1/2015

Microsystem Technologies 1/2015 Zur Ausgabe