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01.02.2013 | Technical Paper | Ausgabe 2/2013

Microsystem Technologies 2/2013

Improved micro fluxgate sensor with double-layer Fe-based amorphous core

Zeitschrift:
Microsystem Technologies > Ausgabe 2/2013
Autoren:
Chong Lei, Jian Lei, Zhen Yang, Yong Zhou

Abstract

A rapid manufacturing process for the micro solenoid fluxgate sensor integrating multilayer amorphous ribbon core has been established, which combines the micro assembling method and the MEMS technologies. We select Fe-based amorphous soft magnetic ribbons for core materials and have fabricated the micro fluxgate sensors by MEMS technologies, with single-layer core and double-layer core respectively. The micro fluxgate sensors with double-layer core show the advantageous to that with single-layer core and exhibit sensitivity of 1089.2 V/T at excitation current of 120 mA rms, wide linear range of −900 to 900 μT and power consumption of 24.48 mW. The noise power density of the single core fluxgate sensor is 2.48nT/Hz1/2@1 Hz.

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