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Journal of Materials Science: Materials in Electronics
Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics 2/2019

27.11.2018

Integral nanoindentation evaluation of TiO2, SnO2, and ZnO thin films deposited via spray-pyrolysis on glass substrates

verfasst von: Edgar A. Villegas, Rodrigo Parra, Leandro Ramajo

Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics | Ausgabe 2/2019

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Abstract

Tin, titanium and zinc oxide thin films were deposited on glass substrates by spray-pyrolysis. According to the resolution of XRD and SEM, films are single phase and of uniform surfaces. Elastic modulus and film hardness were studied by instrumented indentation. Friction coefficient and wear volume were determined by nanowear procedures. Low friction coefficient and roughness (< 0.2 and ∼ 7 nm, respectively) were measured. Hardness values (between 6 and 11 GPa) were determined to be in agreement with those reported for similar films grown by physical methods. Titanium and tin dioxide films displayed better wear and mechanical properties than ZnO films.
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Metadaten
Titel
Integral nanoindentation evaluation of TiO2, SnO2, and ZnO thin films deposited via spray-pyrolysis on glass substrates
verfasst von
Edgar A. Villegas
Rodrigo Parra
Leandro Ramajo
Publikationsdatum
27.11.2018
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Materials Science: Materials in Electronics / Ausgabe 2/2019
Print ISSN: 0957-4522
Elektronische ISSN: 1573-482X
DOI
https://doi.org/10.1007/s10854-018-0404-3

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