Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

01.02.2020 | FABRICATION, TREATMENT, AND TESTING OF MATERIALS AND STRUCTURES | Ausgabe 2/2020

Semiconductors 2/2020

Investigation of the Influences of Post-Thermal Annealing on Physical Properties of TiO2 Thin Films Deposited by RF Sputtering

Zeitschrift:
Semiconductors > Ausgabe 2/2020
Autoren:
H. E. Doghmane, T. Touam, A. Chelouche, F. Challali, B. Bordji

Abstract

For this study, titanium dioxide (TiO2) thin films were deposited on glass substrates at room temperature by the RF magnetron sputtering technique. The preparation parameters that offer better control and reproducibility of film fabrication were first optimized. Then, the effects of post-deposition annealing temperature at 350, 450, and 550°C on the microstructure, surface morphology, and optical properties of the prepared films were investigated using X-ray diffraction (XRD), Raman spectroscopy (RS), scanning electron microscopy (SEM), atomic force microscopy (AFM), and UV–Visible (UV–Vis) spectrophotometry. Interestingly, XRD analysis shows that as-deposited and annealed TiO2 film possess anatase crystal structure only with a preferential orientation along the (101) plane. The intensity of the (101) diffraction peak and crystallite size are found to increase with increasing annealing temperature, which indicates an improvement in the crystallinity of the films. Raman spectra confirm that all samples possess anatase phase and the crystallinity is enhanced with increasing thermal annealing. From the analysis of SEM and AFM images, it is revealed that the heat treatment significantly affects the morphology, grain size, and surface roughness of the TiO2 films. The UV–Vis spectroscopy analysis shows that as-deposited TiO2 thin film is highly transparent in the visible region with an average transmittance about 84%, whereas the transmission decreases slightly with an increase in annealing temperature. Moreover, the optical band gap energy shows a red shift with increasing the annealing temperature.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Wirtschaft"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 58.000 Bücher
  • über 300 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Versicherung + Risiko




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 2/2020

Semiconductors 2/2020 Zur Ausgabe

NONELECTRONIC PROPERTIES OF SEMICONDUCTORS (ATOMIC STRUCTURE, DIFFUSION)

Thermal Conductivity of Cu2ZnGe1 –xSnxSe4 Alloys

Premium Partner

    Bildnachweise