Skip to main content
main-content

Tipp

Weitere Artikel dieser Ausgabe durch Wischen aufrufen

27.08.2018 | Ausgabe 21/2018

Journal of Materials Science: Materials in Electronics 21/2018

Investigation of the substrate effect for Zr doped ZnO thin film deposition by thermionic vacuum arc technique

Zeitschrift:
Journal of Materials Science: Materials in Electronics > Ausgabe 21/2018
Autoren:
Uğur Demirkol, Suat Pat, Reza Mohammadigharehbagh, Caner Musaoğlu, Mustafa Özgür, Saliha Elmas, Soner Özen, Şadan Korkmaz

Abstract

ZnO is a fundamental wide band gap semiconductor. Especially, doped elements change the optical properties of the ZnO thin film, drastically. Doped ZnO semiconductor is a promising materials for the transparent conductive oxide layer. Especially, Zr doped ZnO is a potential material for the high performance TCO. In this paper, ZnO semiconductors were doped with Zr element and microstructural, surface and optical properties of the Zr doped ZnO thin films were investigated. Zr doped ZnO thin films were deposited thermionic vacuum arc (TVA) technique. TVA is a rapid and high vacuum deposition method. A glass, polyethylene terephthalate and Si wafer (111) were used as a substrate material. Zr doped ZnO thin films deposited by TVA technique and their substrate effect investigated. As a results, deposited thin films has a high transparency. The crystal orientation of the films are in polycrystal formation. Especially, substrate crystal orientation strongly change the crystal formation of the films. Substrate crystal structure can change the optical band gap, microstructural properties and deposited layer formation. According to the atomic force microscopy and field emission scanning electron microscopy measurements, all deposited layer shows homogeneous, compact and low roughness. The band values of the deposited thin film were approximately found as to be 3.1–3.4 eV. According to the results, Zr elements created more optical defect and shifted to the band gap value towards to blue region.

Bitte loggen Sie sich ein, um Zugang zu diesem Inhalt zu erhalten

Sie möchten Zugang zu diesem Inhalt erhalten? Dann informieren Sie sich jetzt über unsere Produkte:

Springer Professional "Wirtschaft+Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft+Technik" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 69.000 Bücher
  • über 500 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Maschinenbau + Werkstoffe
  • Versicherung + Risiko

Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Technik"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 50.000 Bücher
  • über 380 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Automobil + Motoren
  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Elektrotechnik + Elektronik
  • Energie + Umwelt
  • Maschinenbau + Werkstoffe




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Springer Professional "Wirtschaft"

Online-Abonnement

Mit Springer Professional "Wirtschaft" erhalten Sie Zugriff auf:

  • über 58.000 Bücher
  • über 300 Zeitschriften

aus folgenden Fachgebieten:

  • Bauwesen + Immobilien
  • Business IT + Informatik
  • Finance + Banking
  • Management + Führung
  • Marketing + Vertrieb
  • Versicherung + Risiko




Testen Sie jetzt 30 Tage kostenlos.

Literatur
Über diesen Artikel

Weitere Artikel der Ausgabe 21/2018

Journal of Materials Science: Materials in Electronics 21/2018 Zur Ausgabe