Key issues and challenges in device level fabrication of MEMS acoustic sensors using piezo thin films doped with strontium and lanthanum

Der Artikel geht den komplexen Herausforderungen bei der Herstellung von MEMS-Akustiksensoren unter Verwendung von Sr und La kodotierten PSLZT-Dünnschichten nach. Zunächst wird die Notwendigkeit leistungsstarker akustischer Sensoren in Unterwassersystemen und die Rolle von MEMS-basierten Sensoren in diesem Zusammenhang hervorgehoben. Die Autoren diskutieren die kritischen Fragen im Zusammenhang mit der Auswahl, Abscheidung und Strukturierung von Bodenelektroden, insbesondere die Herausforderungen mit Pt / TiOx-Elektroden. Sie untersuchen auch die Probleme im Zusammenhang mit der Vorbereitung von Stotterzielen, einschließlich der Zieldichte, Zusammensetzung und der Bildung von Rissen. Der Artikel untersucht außerdem die Herausforderungen im Stotterprozess selbst, wie die Optimierung der Abscheidungsparameter und die Vermeidung von Zielversagen. Außerdem werden die Schwierigkeiten bei der Strukturierung von PSLZT-Dünnschichten angesprochen, einschließlich der Unterschnittprobleme beim Nassätzen. Das Narrativ bietet wertvolle Einblicke in die Optimierungsstrategien und Lösungen zur Überwindung dieser Herstellungsprobleme und macht es zu einer umfassenden Ressource für Forscher und Ingenieure auf diesem Gebiet.