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2011 | OriginalPaper | Buchkapitel

Laser Micromachining

verfasst von : Udo Klotzbach, Andrés Fabián Lasagni, Michael Panzner, Volker Franke

Erschienen in: Fabrication and Characterization in the Micro-Nano Range

Verlag: Springer Berlin Heidelberg

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Abstract

Over the recent years, the laser technology and its potentials have been exciting laser manufacturers as well as researchers and industrial users. Lasers with their excellent beam quality promised noticeable advantages and improvements in high precision and material processing at the microscale. Besides the excellent beam quality there are more advantages of the laser technology such as compact installation size, high laser efficiency, moderate system price and easy to be integrated. This chapter describes the results of different short pulse laser systems in a wide field of applications, showing specific advantages in practical applications. Typical applications of laser micro machining have been chosen including drilling, cutting, structuring, lateral material removal as well as marking.

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Literatur
1.
Zurück zum Zitat Shen, B., Izquierdo, R., Meunier, M.: Laser fabrication of three-dimensional microstructures, cavities and columns. SPIE 2045, 91–98 (1994) Shen, B., Izquierdo, R., Meunier, M.: Laser fabrication of three-dimensional microstructures, cavities and columns. SPIE 2045, 91–98 (1994)
2.
Zurück zum Zitat Lorazo, P., Lewis, L.J., Meunier, M.: Picosecond pulse laser ablation of silicon: a molecular-dynamics study. Appl. Surf. Sci. 168, 276–279 (2000)CrossRef Lorazo, P., Lewis, L.J., Meunier, M.: Picosecond pulse laser ablation of silicon: a molecular-dynamics study. Appl. Surf. Sci. 168, 276–279 (2000)CrossRef
3.
Zurück zum Zitat Bonseo, J., Baudach, S., Krüger, J., Lenzner, M., Wrobel, J.M., Kautek, W.: Femtosecond pulse laser machining of semiconducting materials. In: Conference Digest. “Conference on Laser and Electro-Optics Europe”, Piscataway, NJ, USA (2000) Bonseo, J., Baudach, S., Krüger, J., Lenzner, M., Wrobel, J.M., Kautek, W.: Femtosecond pulse laser machining of semiconducting materials. In: Conference Digest. “Conference on Laser and Electro-Optics Europe”, Piscataway, NJ, USA (2000)
4.
Zurück zum Zitat Kaspar, J., Luft, A.: Electron microscopic investigation of structural changes in single crystalline silicon induced by short pulse laser drilling. In: Proceedings of the Micro Materials Conference, p. 539, Hrsg. Michel, B., Winkler, T., Druckhaus Dresden GmbH, Dresden (1997) Kaspar, J., Luft, A.: Electron microscopic investigation of structural changes in single crystalline silicon induced by short pulse laser drilling. In: Proceedings of the Micro Materials Conference, p. 539, Hrsg. Michel, B., Winkler, T., Druckhaus Dresden GmbH, Dresden (1997)
5.
Zurück zum Zitat Lenk, A.: Dissertation Komplexe Erfassung der Energie- und Teilchenströme bei der Laserpulse-Anblation von Aluminium. Department of mathematics and natural sciences, Technical University Dresden, Dresden (1996) (in German) Lenk, A.: Dissertation Komplexe Erfassung der Energie- und Teilchenströme bei der Laserpulse-Anblation von Aluminium. Department of mathematics and natural sciences, Technical University Dresden, Dresden (1996) (in German)
6.
Zurück zum Zitat Palik, E.D.: Handbook of Optical Constants of Solids II (Palik, Hrsg.). Academic Press, Inc., New York (1997) Palik, E.D.: Handbook of Optical Constants of Solids II (Palik, Hrsg.). Academic Press, Inc., New York (1997)
7.
Zurück zum Zitat Crafer, R.C., Oaklay, P.J.: Processing in Manufacturing, p. 163. Chapman & Hall, London (1993) Crafer, R.C., Oaklay, P.J.: Processing in Manufacturing, p. 163. Chapman & Hall, London (1993)
8.
Zurück zum Zitat Klotzbach, U., Hauptmann, J.: Potenzial der Mikromaterialbearbeitung mit UV-Lasern für die Photovoltaik; Laserphotonics. Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG, München (2008) (in German) Klotzbach, U., Hauptmann, J.: Potenzial der Mikromaterialbearbeitung mit UV-Lasern für die Photovoltaik; Laserphotonics. Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG, München (2008) (in German)
9.
Zurück zum Zitat Hesener, H.: Patent WO 0012/256 “method for processing and for joining, especially, for soldering a component or a component arrangement using electromagnetic radiation” (1999) Hesener, H.: Patent WO 0012/256 “method for processing and for joining, especially, for soldering a component or a component arrangement using electromagnetic radiation” (1999)
10.
Zurück zum Zitat Patent, V.: Franke WO2008025351: “method for producing a bioreactor or lab-on-a-chip system and bioreactors or lab-on-a-chip systems produced therewith” Patent, V.: Franke WO2008025351: “method for producing a bioreactor or lab-on-a-chip system and bioreactors or lab-on-a-chip systems produced therewith”
11.
Zurück zum Zitat Franke, V., König, A., Klotzbach, U.: Fest gefügt über Materialgrenzen hinweg Mikroproduktion 4/2007. Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG, München (2007) Franke, V., König, A., Klotzbach, U.: Fest gefügt über Materialgrenzen hinweg Mikroproduktion 4/2007. Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG, München (2007)
12.
Zurück zum Zitat Klotzbach, U., Franke, V., Sonntag, F., Morgenthal, L., Beyer, E.: Requirements and potentialities for bioreactors with LTCC and polymer. Photonics West, San Jose, CA, USA (2007) Klotzbach, U., Franke, V., Sonntag, F., Morgenthal, L., Beyer, E.: Requirements and potentialities for bioreactors with LTCC and polymer. Photonics West, San Jose, CA, USA (2007)
Metadaten
Titel
Laser Micromachining
verfasst von
Udo Klotzbach
Andrés Fabián Lasagni
Michael Panzner
Volker Franke
Copyright-Jahr
2011
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
DOI
https://doi.org/10.1007/978-3-642-17782-8_2

    Marktübersichten

    Die im Laufe eines Jahres in der „adhäsion“ veröffentlichten Marktübersichten helfen Anwendern verschiedenster Branchen, sich einen gezielten Überblick über Lieferantenangebote zu verschaffen.