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Erschienen in: Semiconductors 6/2018

01.06.2018 | Fabrication, Treatment, and Testing of Materials and Structures

Effect of Chemical Treatment of a Silicon Surface on the Quality and Structure of Silicon-Carbide Epitaxial Films Synthesized by Atom Substitution

verfasst von: I. P. Kalinkin, S. A. Kukushkin, A. V. Osipov

Erschienen in: Semiconductors | Ausgabe 6/2018

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Metadaten
Titel
Effect of Chemical Treatment of a Silicon Surface on the Quality and Structure of Silicon-Carbide Epitaxial Films Synthesized by Atom Substitution
verfasst von
I. P. Kalinkin
S. A. Kukushkin
A. V. Osipov
Publikationsdatum
01.06.2018
Verlag
Pleiades Publishing
Erschienen in
Semiconductors / Ausgabe 6/2018
Print ISSN: 1063-7826
Elektronische ISSN: 1090-6479
DOI
https://doi.org/10.1134/S1063782618060118

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