The morphological characterization of particles by automated scanning electron microscopy

Summary

A method is described for the characterization and the classification according to shape of microscopic objects by automated SEM. The classification is performed by a hierarchical cluster analysis on a set of Fourier coefficients that are calculated from a set of radii, measured between a well defined centroid point and the contour lines of the object. This method is incorporated in existing commercial software for automated X-ray and size analysis of airborne particulate matter (PRC, Tracor Northern). Two examples demonstrate the possibilities and limitations of this method.

Zusammenfassung

Eine Methode für die Charakterisierung und Klassifizierung mikroskopischer Objekte nach ihrer Form durch automatische Raster-Elektronenmikroskopie wurde beschrieben. Die Klassifizierung wird mittels einer hierarchischen Clusteranalyse unter Verwendung eines Satzes von Fourier-Koeffizienten durchgeführt, die aus einem Satz von Radien — gemessen zwischen einem exakt definierten Mittelpunkt und den Konturlinien der Objekte — berechnet werden. Diese Methode wird in eine kommerziell erhältliche Software für automatische Röntgen- und Größenverteilungs-analyse von luftgetragenen Staubteilchen eingebaut (PRC, Tracor Northern). An Hand von Beispielen werden die Möglichkeiten und Limitierungen dieser Methode dargestellt.