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Erschienen in: Microsystem Technologies 6-7/2003

01.09.2003

Fabrication of microchannels in negative resist

verfasst von: G. Liu, Y. Tian, X. Zhang

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 6-7/2003

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Metadaten
Titel
Fabrication of microchannels in negative resist
verfasst von
G. Liu
Y. Tian
X. Zhang
Publikationsdatum
01.09.2003
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 6-7/2003
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-002-0258-7

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