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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 3/2008

01.03.2008 | Technical Paper

Fabrication and dynamic analysis of the electrostatically actuated MEMS variable capacitor

verfasst von: Dong-Ming Fang, Xiang-Meng Jing, Pei-Hong Wang, Yong Zhou, Xiao-Lin Zhao

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 3/2008

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Abstract

Future microwave networks require miniature high-performance tunable elements such as switches, inductors, and capacitors. In this paper, high performance variable capacitor was fabricated by simple microelectromechanical systems (MEMS) technology. The capacitance and quality (Q) factor at 1 GHz are 0.792 pF and 51.6. The pull-in voltage is 13.5 V and the tuning ratio of the capacitor is more than 1.31:1. A reduced-order model for the dynamic characteristics of the capacitor is established based on the equilibrium among the plate flexibility.
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Metadaten
Titel
Fabrication and dynamic analysis of the electrostatically actuated MEMS variable capacitor
verfasst von
Dong-Ming Fang
Xiang-Meng Jing
Pei-Hong Wang
Yong Zhou
Xiao-Lin Zhao
Publikationsdatum
01.03.2008
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 3/2008
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-007-0487-x

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