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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 12/2008

01.11.2008 | Technical Paper

Batch fabrication of micro grippers with integrated actuators

verfasst von: Björn Hoxhold, Stephanus Büttgenbach

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 12/2008

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Abstract

In this paper we present improvements in the field of batch fabricated micro grippers with shape memory alloy (SMA) actuators or pneumatic drives. In this context we illustrate two methods of structuring SMA foils. Moreover, it is shown how the processed SMA elements can be embedded into monolithic SU-8 grippers. We also describe actuator elements for silicon/SU-8 hybrid micro grippers. Furthermore, we report on the advantages of pneumatic micro grippers and how this alternative actuation principle can be fabricated in batch technology. In this regard, a thermoplastic adhesive electrodepositing process is presented.
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Literatur
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Metadaten
Titel
Batch fabrication of micro grippers with integrated actuators
verfasst von
Björn Hoxhold
Stephanus Büttgenbach
Publikationsdatum
01.11.2008
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 12/2008
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-008-0659-3

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