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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 6/2013

01.06.2013 | Technical Paper

SmCo micromolding in an aqueous electrolyte

verfasst von: K. Chouarbi, M. Woytasik, E. Lefeuvre, J. Moulin

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 6/2013

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Abstract

The micromolding technique has been successfully applied to samarium–cobalt (SmCo) films electrodeposited in an aqueous solution. After optimization of the deposition conditions in a Hull cell, taking into account the supplying mode, the pulse time and the addition of supporting electrolyte, films with thickness between 1 and 1.5 μm have been patterned in 1 mm × 1 mm squares. Is has been found that high Sm/(Sm + Co) ratio can be obtained in direct current mode, with or without supporting electrolyte. In addition, the micromolding process reduces the contamination in oxygen due to oxidation and/or incorporation of precipitates, from 20 to 30 % in the Hull cell to 10–15 % in the pattern.
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Metadaten
Titel
SmCo micromolding in an aqueous electrolyte
verfasst von
K. Chouarbi
M. Woytasik
E. Lefeuvre
J. Moulin
Publikationsdatum
01.06.2013
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 6/2013
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s00542-013-1806-z

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