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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 3/1997

01.05.1997

A microvalve matrix using piezoelectric actuators

verfasst von: T. Watanabe, H. Kuwano

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 3/1997

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Metadaten
Titel
A microvalve matrix using piezoelectric actuators
verfasst von
T. Watanabe
H. Kuwano
Publikationsdatum
01.05.1997
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 3/1997
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s005420050065

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