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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 3/1999

01.02.1999

Materials of LIGA technology

verfasst von: W. Ehrfeld, V. Hessel, H. Löwe, C. Schulz, L. Weber

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 3/1999

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Metadaten
Titel
Materials of LIGA technology
verfasst von
W. Ehrfeld
V. Hessel
H. Löwe
C. Schulz
L. Weber
Publikationsdatum
01.02.1999
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 3/1999
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s005420050150

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