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Microsystem Technologies
Erschienen in: Microsystem Technologies 4/1999

01.07.1999

Multilayer polyimide film substrates for interconnections in microsystems

verfasst von: A. Fach, Y. Athanassov, U. Brunner, D. Hablützel, B. Ketterer, J. Link

Erschienen in: Microsystem Technologies | Ausgabe 4/1999

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Metadaten
Titel
Multilayer polyimide film substrates for interconnections in microsystems
verfasst von
A. Fach
Y. Athanassov
U. Brunner
D. Hablützel
B. Ketterer
J. Link
Publikationsdatum
01.07.1999
Verlag
Springer-Verlag
Erschienen in
Microsystem Technologies / Ausgabe 4/1999
Print ISSN: 0946-7076
Elektronische ISSN: 1432-1858
DOI
https://doi.org/10.1007/s005420050158

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