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Journal of Electroceramics
Erschienen in: Journal of Electroceramics 1-3/2004

01.07.2004

Development of Spin Coated Mesoporous Oxide Films for MEMS Structures

verfasst von: Jong-Ah Paik, Shih-Kang Fan, Hsin Chang, Chang-Jin Kim, Ming C. Wu, Bruce Dunn

Erschienen in: Journal of Electroceramics | Ausgabe 1-3/2004

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Metadaten
Titel
Development of Spin Coated Mesoporous Oxide Films for MEMS Structures
verfasst von
Jong-Ah Paik
Shih-Kang Fan
Hsin Chang
Chang-Jin Kim
Ming C. Wu
Bruce Dunn
Publikationsdatum
01.07.2004
Verlag
Kluwer Academic Publishers
Erschienen in
Journal of Electroceramics / Ausgabe 1-3/2004
Print ISSN: 1385-3449
Elektronische ISSN: 1573-8663
DOI
https://doi.org/10.1007/s10832-004-5136-5

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