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Journal of Materials Science
Erschienen in: Journal of Materials Science 9-10/2005

01.05.2005

Properties of Ta–Mo alloy gate electrode for n-MOSFET

verfasst von: Chung Keun Lee, Jae Young Kim, Shin Nam Hong, Huicai Zhong, Bei Chen, Veena Misra

Erschienen in: Journal of Materials Science | Ausgabe 9-10/2005

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Metadaten
Titel
Properties of Ta–Mo alloy gate electrode for n-MOSFET
verfasst von
Chung Keun Lee
Jae Young Kim
Shin Nam Hong
Huicai Zhong
Bei Chen
Veena Misra
Publikationsdatum
01.05.2005
Verlag
Kluwer Academic Publishers
Erschienen in
Journal of Materials Science / Ausgabe 9-10/2005
Print ISSN: 0022-2461
Elektronische ISSN: 1573-4803
DOI
https://doi.org/10.1007/s10853-005-2108-3

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