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Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics 8/2007

01.08.2007

Deposition of nanocrystalline ZnO thin films on p-Si by novel galvanic method and application of the heterojunction as methane sensor

verfasst von: P. Bhattacharyya, P. K. Basu, N. Mukherjee, A. Mondal, H. Saha, S. Basu

Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics | Ausgabe 8/2007

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Abstract

Undoped nanocrystalline n-ZnO thin films were deposited by a novel galvanic technique at room temperature on p-Si 〈100 〉 substrates to fabricate ZnO–Si heterojunctions. The IV characteristics were studied at different temperatures with two different metallic contacts e.g., gold and palladium–silver (26%), in air and in presence of different concentrations (0.1, 0.5 and 1%) of methane gas. A shift in IV characteristics in presence of methane was observed. The sensitivity and response time were studied at different temperatures (30 through 350 °C). Pd–Ag (26%) catalytic contacts showed much improved sensor performance.

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Metadaten
Titel
Deposition of nanocrystalline ZnO thin films on p-Si by novel galvanic method and application of the heterojunction as methane sensor
verfasst von
P. Bhattacharyya
P. K. Basu
N. Mukherjee
A. Mondal
H. Saha
S. Basu
Publikationsdatum
01.08.2007
Erschienen in
Journal of Materials Science: Materials in Electronics / Ausgabe 8/2007
Print ISSN: 0957-4522
Elektronische ISSN: 1573-482X
DOI
https://doi.org/10.1007/s10854-006-9105-4

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