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Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics 6/2007

01.06.2007

Aluminum doped ZnO by reactive sputtering of coaxial Zn and Al metallic targets

verfasst von: M. A. Santana-Aranda, A. Armenta-Estrada, C. Mendoza-Barrera, C. R. Michel, A. Chávez-Chávez, S. Jiménez-Sandoval, M. Meléndez-Lira

Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics | Ausgabe 6/2007

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Abstract

Transparent films of aluminum doped zinc oxide were obtained by reactive sputtering employing metallic zinc and aluminum targets. The targets were coaxially superposed in a single magnetron, by using a center hollow aluminum plate. Two different hole radii in the aluminum target were employed trying to modify the aluminum content. Sputtering power was kept constant at 50 W and temperature was set to 300, 400 and 500 °C. Oxygen partial pressure was 20 and 40% in argon. Film transparencies up to 85% were obtained using this method. X-ray diffraction and Raman spectroscopy measurements were performed to monitor the crystalline structure of the films. Sample resistance was determined by current voltage measurements.

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Metadaten
Titel
Aluminum doped ZnO by reactive sputtering of coaxial Zn and Al metallic targets
verfasst von
M. A. Santana-Aranda
A. Armenta-Estrada
C. Mendoza-Barrera
C. R. Michel
A. Chávez-Chávez
S. Jiménez-Sandoval
M. Meléndez-Lira
Publikationsdatum
01.06.2007
Erschienen in
Journal of Materials Science: Materials in Electronics / Ausgabe 6/2007
Print ISSN: 0957-4522
Elektronische ISSN: 1573-482X
DOI
https://doi.org/10.1007/s10854-006-9115-2

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