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Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics 5/2014

01.05.2014

The effect of hydrogen annealing on the molybdenum doped ZnO thin film

verfasst von: Tien-Chai Lin, Wen-Feng Huang, Wen-Chang Huang

Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics | Ausgabe 5/2014

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Abstract

The electrical characteristics of hydrogen annealing on the molybdenum doped ZnO (MZO) thin film were discussed in the paper. The MZO film was deposited by an radio frequency sputtering, then it was annealed in hydrogen with a microwave plasma chemical vapor deposition system. The resistivity of MZO was decreased from 1.1 × 10−2 to 9.5 × 10−3 Ω cm after the hydrogen annealing. Improvements of the electrical properties are both due to the defects repairing through annealing and hydrogen doping effects of the MZO thin film. The higher temperature annealed MZO film shows slightly lower transmittance which is due to the higher carrier concentration.

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Metadaten
Titel
The effect of hydrogen annealing on the molybdenum doped ZnO thin film
verfasst von
Tien-Chai Lin
Wen-Feng Huang
Wen-Chang Huang
Publikationsdatum
01.05.2014
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Materials Science: Materials in Electronics / Ausgabe 5/2014
Print ISSN: 0957-4522
Elektronische ISSN: 1573-482X
DOI
https://doi.org/10.1007/s10854-014-1850-1

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