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Journal of Electronic Materials
Erschienen in: Journal of Electronic Materials 12/2014

01.12.2014

Synchrotron Radiation Microtomography for Large Area 3D Imaging of Multilevel Microelectronic Packages

verfasst von: John W. Elmer, Yan Li, Holly D. Barth, Dilworth Y. Parkinson, Mario Pacheco, Deepak Goyal

Erschienen in: Journal of Electronic Materials | Ausgabe 12/2014

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Metadaten
Titel
Synchrotron Radiation Microtomography for Large Area 3D Imaging of Multilevel Microelectronic Packages
verfasst von
John W. Elmer
Yan Li
Holly D. Barth
Dilworth Y. Parkinson
Mario Pacheco
Deepak Goyal
Publikationsdatum
01.12.2014
Verlag
Springer US
Erschienen in
Journal of Electronic Materials / Ausgabe 12/2014
Print ISSN: 0361-5235
Elektronische ISSN: 1543-186X
DOI
https://doi.org/10.1007/s11664-014-3375-z

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