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Journal of Materials Science: Materials in Electronics
Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics 5/1997

01.10.1997

Hardness, elastic modulus and structure of indium nitride thin films on AlN-nucleated sapphire substrates

verfasst von: J. H EDGAR , C. H WEI , D. T SMITH , T. J KISTENMACHER , W. A BRYDEN

Erschienen in: Journal of Materials Science: Materials in Electronics | Ausgabe 5/1997

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Metadaten
Titel
Hardness, elastic modulus and structure of indium nitride thin films on AlN-nucleated sapphire substrates
verfasst von
J. H EDGAR
C. H WEI
D. T SMITH
T. J KISTENMACHER
W. A BRYDEN
Publikationsdatum
01.10.1997
Verlag
Kluwer Academic Publishers
Erschienen in
Journal of Materials Science: Materials in Electronics / Ausgabe 5/1997
Print ISSN: 0957-4522
Elektronische ISSN: 1573-482X
DOI
https://doi.org/10.1023/A:1018587306451

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