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Journal of Materials Science
Erschienen in: Journal of Materials Science 20/2003

01.10.2003

Modeling of fatigue in polysilicon MEMS structures

verfasst von: K. Bhalerao, A. B. O. Soboyejo, W. O. Soboyejo

Erschienen in: Journal of Materials Science | Ausgabe 20/2003

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Metadaten
Titel
Modeling of fatigue in polysilicon MEMS structures
verfasst von
K. Bhalerao
A. B. O. Soboyejo
W. O. Soboyejo
Publikationsdatum
01.10.2003
Verlag
Kluwer Academic Publishers
Erschienen in
Journal of Materials Science / Ausgabe 20/2003
Print ISSN: 0022-2461
Elektronische ISSN: 1573-4803
DOI
https://doi.org/10.1023/A:1026329606103

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