Da der industrielle Einsatz mikrotechnischer Produkte immer mehr zunimmt, kommt es zu einem erhöhten Bedarf an dimensioneller Messtechnik. Der vorliegende Beitrag beschreibt eine neue 3D-Mikromesseinrichtung und die zur Verfügung stehenden bzw. in Entwicklung befindlichen Mikrotastsysteme und ihre Eigenschaften und Verwendungsmöglichkeiten. Die zur Charakterisierung dieser Tastsysteme verwendete Mikrokraftmesstechnik wird ebenfalls beschrieben.
The increasing industrial use of microtechnical products has led to a strong demand of suitable dimensional measuring techniques. The present contribution describes the properties and potential applications of a novel 3D micro measuring system and appropriate micro probing systems which are available or under development. The micro force measuring technique used to characterize these probing systems is described.
