電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌）
Online ISSN : 1348-8163
Print ISSN : 0913-6339
ISSN-L : 0913-6339
II.画像処理による検査
矢田 恒二
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キーワード: 検査, CCDカメラ, ウェーハ, ICチップ, 噴射ノズル, はんだづけ
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1996 年 116 巻 1 号 p. 2-4

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