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Erschienen in: Journal of Systems Science and Systems Engineering 3/2023

08.03.2023

Machine Allocation in Semiconductor Wafer Fabrication Systems: A Simulation-Based Approach

verfasst von: Yanfeng Wu, Sihua Chen

Erschienen in: Journal of Systems Science and Systems Engineering | Ausgabe 3/2023

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Metadaten
Titel
Machine Allocation in Semiconductor Wafer Fabrication Systems: A Simulation-Based Approach
verfasst von
Yanfeng Wu
Sihua Chen
Publikationsdatum
08.03.2023
Verlag
Springer Berlin Heidelberg
Erschienen in
Journal of Systems Science and Systems Engineering / Ausgabe 3/2023
Print ISSN: 1004-3756
Elektronische ISSN: 1861-9576
DOI
https://doi.org/10.1007/s11518-023-5558-8

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