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2013 | OriginalPaper | Buchkapitel

4. Making Non-tuneable Piezoelectric FBARs Tuneable

verfasst von : Spartak Gevorgian, Alexander K. Tagantsev, Andrei Vorobiev

Erschienen in: Tuneable Film Bulk Acoustic Wave Resonators

Verlag: Springer London

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Abstract

This chapter explores the possibilities of tuning the resonant and anti-resonant frequencies of fixed-frequency FBARs. The first two sections address the possibilities of intrinsic tuning where the stiffness of the piezoelectric film is changed through applied high DC electric field and by heating. The rest of the chapter deals with extrinsically tuneable FBARs. In this case, the tuning is imposed by tuneable inductors and capacitors shunt or series connected with an FBAR. The maximum reported intrinsic tuning of the AlN resonators under applied DC field and heating is about 1 %, while the maximum extrinsic tuneability is less than 2 %.

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Metadaten
Titel
Making Non-tuneable Piezoelectric FBARs Tuneable
verfasst von
Spartak Gevorgian
Alexander K. Tagantsev
Andrei Vorobiev
Copyright-Jahr
2013
Verlag
Springer London
Buch
Tuneable Film Bulk Acoustic Wave Resonators

Print ISBN: 978-1-4471-4943-9

Electronic ISBN: 978-1-4471-4944-6

Copyright-Jahr: 2013

DOI
https://doi.org/10.1007/978-1-4471-4944-6_4

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